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系統(tǒng)可以為各種材質薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術、近紅外干涉技術以及高亮度光源驅動的光譜橢偏儀技術的多傳感器融合測量技術，是國內可以實現(xiàn)同質膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

系統(tǒng)用于磨片、拋光等前道工藝流程中的晶圓尺寸及形貌檢測，包括TTV，Bow，Warp，TIR等參數(shù)，可覆蓋4寸-12寸任何材質晶圓的關鍵尺寸檢測，精度達國際水平，產(chǎn)能和經(jīng)濟效益遠超國內外產(chǎn)品。

UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊